光掩模版/MEMS/玻璃基高密度基板；
晶圓先進封裝-玻璃間隔晶片;Mini/Micro LED
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玻璃基板
激光誘導鉆孔機 | LDR
玻璃基板激光誘導鉆孔機 | LDR
應用領域
主要應用于異形構造玻璃；射頻組件/光電元件/光掩模版/MEMS/玻璃基高密度基板；晶圓先進封裝-玻璃間隔晶片;Mini/Micro LED顯示面板玻璃襯底；折疊屏等進行激光誘導鉆通孔、盲孔
產品特點

  • 定制皮秒/飛秒激光器，出光穩定

  • 激光飛行脈沖打點，同時兼容單點/旋切鉆孔工藝，效率高

  • 集成優異的軟件算法，自動優化激光打點及切割的路徑及方向

  • 可兼容產品漏點視覺檢測功能，提供產品漏點數據對接接口及預留檢測工位，實行補點功能無縫對接

技術指標
激光器超快皮秒/飛秒激光
加工產品尺寸X/Y: 350×350mm 12寸玻璃晶圓
加工玻璃厚度100-1500μm
聚焦光斑直徑<3μm
UPH≥5000孔/秒
平臺定位精度≤±2μm
重復定位精度≤±1μm
視覺配置1000萬像素